Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Радио и связь
1983
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
Вып. 36 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 126 с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 121-125 |