Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
1983
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
Вып. 36 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 126 с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 121-125 |