Пресс Феликс Павлович & Пролейко, В. М. (1978). Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. Советское радио.
Chicago Style (17th ed.) CitationПресс Феликс Павлович and В. М Пролейко. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. М.: Советское радио, 1978.
MLA (8th ed.) CitationПресс Феликс Павлович and В. М Пролейко. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. Советское радио, 1978.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
