Пресс Феликс Павлович & Пролейко, В. М. (1978). Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. Советское радио.
Chicago-стиль цитированияПресс Феликс Павлович and В. М Пролейко. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. М.: Советское радио, 1978.
MLA-цитированиеПресс Феликс Павлович and В. М Пролейко. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание. Советское радио, 1978.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.