|
|
|
|
| LEADER |
01560nam a2200265 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000018277 |
| 008 |
060815u1978 ru_а l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Пресс
|q Феликс Павлович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем:
|b научное издание/
|c Феликс Павлович Пресс
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Советское радио
|c 1978
|
| 300 |
|
|
|a 94[2] с.:
|b а-ил
|
| 440 |
|
0 |
|a Массовая библиотека инженера "Электроника";
|v 18
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 92-95
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a фотолитография
|
| 653 |
0 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 653 |
0 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 653 |
0 |
|
|a микросхемы
|
| 653 |
0 |
|
|a производство
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П734
|p 172927
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П734
|p 172928
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|a 621.382.002
|
| 700 |
1 |
|
|a Пролейко, В. М.
|4 edt
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/П734-788227
|
