Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: научное издание/

Библиографическая информация
Главный автор: Пресс Феликс Павлович (Автор)
Другие авторы: Пролейко, В. М. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Советское радио 1978
Серии:Массовая библиотека инженера "Электроника"; 18
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы