Иванов Роберт Дмитриевич. (1972). Квантовый метод создания пленочных элементов микросхем. Энергия.
Chicago Style (17th ed.) CitationИванов Роберт Дмитриевич. Квантовый метод создания пленочных элементов микросхем. М.: Энергия, 1972.
MLA (8th ed.) CitationИванов Роберт Дмитриевич. Квантовый метод создания пленочных элементов микросхем. Энергия, 1972.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.