Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 4, Механическая и химическая обработка: рекомендовано Мин.образования/С. Н. Никифорова-Денисова

Bibliographic Details
Main Author: Никифорова-Денисова, С. Н. Светлана Николаевна (Author)
Format: Book
Published: М.: Высшая школа 1989
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:94[2] с.: а-ил
Bibliography:Библиогр.: с. 93
ISBN:506000306X