Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 4, Механическая и химическая обработка: рекомендовано Мин.образования/С. Н. Никифорова-Денисова
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1989
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 94[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 93 |
| ISBN: | 506000306X |