Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 7, Элионная обработка: рекомендовано Мин.образования/О. С. Моряков
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 125[3] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 127 |
| ISBN: | 5060010791 |