Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 7, Элионная обработка: рекомендовано Мин.образования/О. С. Моряков
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 125[3] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 127 |
| ISBN: | 5060010791 |