Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.)/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
ЦНИИ Электроника
1972
|
| Серии: | Серия 3."микроэлектроника";
Вып.1(9) |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 69 с. |
|---|