Горин, Ю. Н. Ю. Н., Ласка, В. Л. В. Л., & Тирок, М. М. (1985). Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций. ЛЭТИ.
Chicago-стиль цитированияГорин, Ю. Н. Юрий Николаевич, В. Л. Владимир Львович Ласка, and М. Манфред Тирок. Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций. Л.: ЛЭТИ, 1985.
MLA-цитированиеГорин, Ю. Н. Юрий Николаевич, et al. Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций. ЛЭТИ, 1985.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
