Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций/

Bibliographic Details
Main Authors:	Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич (Author), Ласка, В. Л. Владимир Львович (Author), Тирок, М. Манфред (Author)
Corporate Author:	Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина)21 Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Format:	Book
Published:	Л.: ЛЭТИ 1985
Subjects:	тонкие пленки обработка производство технология учебные пособия
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	48 с.: а-ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 47

Similar Items