Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций/
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Л.:
ЛЭТИ
1985
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 48 с.: а-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 47 |