Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич (Автор), Ласка, В. Л. Владимир Львович (Автор), Тирок, М. Манфред (Автор)
Соавтор:	Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина)21 Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Формат:	Книга
Публикация:	Л.: ЛЭТИ 1985
Предметы:	тонкие пленки обработка производство технология учебные пособия
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы