Разработка технологических процессов изготовления больших гибридных интегральных схем: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author: Холопов Вадим Васильевич (Author)
Corporate Author: Казанский авиационный институт им. А. Н. Туполева Кафедра микроэлектроники и конструирования радиоэлектронной аппаратуры21 Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Format: Book
Language:Russian
Published: Казань 1979
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01713nam a2200169 i 4500
001 LibTUSUR0000020140
008 060815s1979 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Холопов  |q Вадим Васильевич  |4 aut 
245 0 0 |a Разработка технологических процессов изготовления больших гибридных интегральных схем:   |b Учебное пособие/  |c Вадим Васильевич Холопов; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Казанский авиационный институт им. А. Н. Туполева. Кафедра микроэлектроники и конструирования радиоэлектронной аппаратуры 
260 |a Казань  |c 1979 
300 |a 68 с. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i Х736  |p 2  |b аунл 
080 |a 621.382.049.776.002.2(075) 
710 2 1 |a Казанский авиационный институт им. А. Н. Туполева  |b Кафедра микроэлектроники и конструирования радиоэлектронной аппаратуры21  |a Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Х736-524252