|
|
|
|
| LEADER |
01997nam a2200361 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000020904 |
| 008 |
060815u1994 ru_a l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 502007019Х
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Проблемы микроэлектронной технологии:
|b сборник научных трудов/
|c Российская Академия наук, Физико-технологический институт; Ред. Л. В. Великов
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Наука
|c 1994
|
| 300 |
|
|
|a 78 с.:
|b a-ил
|
| 440 |
|
0 |
|a Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев;
|v Т. 7
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a SIMOX-технология
|
| 653 |
0 |
|
|a галогеносодержащая плазма
|
| 653 |
0 |
|
|a травление кремния
|
| 653 |
0 |
|
|a калориметрия
|
| 653 |
0 |
|
|a ВТСП-структуры
|
| 653 |
0 |
|
|a ВТСП-пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a ВТСП-керамика
|
| 653 |
0 |
|
|a полиорганоциклосилоксаны
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектронные технологии
|
| 653 |
0 |
|
|a КНИ-структуры
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 275517
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 275518
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 275519
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77
|
| 700 |
1 |
|
|a Великов, Л. В.
|4 edt
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Физико-технологический институт21
|a Российская Академия наук
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/П781-651504
|
