Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/

Библиографическая информация
Соавтор:	Физико-технологический институт21 Российская Академия наук
Другие авторы:	Орликовский, А. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Наука 1994
Серии:	Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев; Т. 8
Предметы:	микроэлектроника микроэлектронные технологии низкотемпературная плазма травление осаждение пленок молекулярно-пучковая эпитаксия БиКМОП-структура СВЧ-плазма диэлектрические пленки ЭЦР-разряд ЭЦР-плазма плазмохимическое травление тонкие пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы