APA (7th ed.) Citation

Смирнов, О. Л., Андреев, А. Н., Илларионов, О. Л., Ястребов, А. П., & Лопухин, В. А. (1983). Технология производства интегральных микросхем: Лекции. ЦНИИ Электроника.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Смирнов, О. Л., А. Н Андреев, О. Л Илларионов, А. П Ястребов, and В. А Лопухин. Технология производства интегральных микросхем: Лекции. Л.: ЦНИИ Электроника, 1983.

MLA (8th ed.) Citation

Смирнов, О. Л., et al. Технология производства интегральных микросхем: Лекции. ЦНИИ Электроника, 1983.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.