Смирнов, О. Л., Андреев, А. Н., Илларионов, О. Л., Ястребов, А. П., & Лопухин, В. А. (1983). Технология производства интегральных микросхем: Лекции. ЦНИИ Электроника.
Chicago-стиль цитированияСмирнов, О. Л., А. Н Андреев, О. Л Илларионов, А. П Ястребов, and В. А Лопухин. Технология производства интегральных микросхем: Лекции. Л.: ЦНИИ Электроника, 1983.
MLA-цитированиеСмирнов, О. Л., et al. Технология производства интегральных микросхем: Лекции. ЦНИИ Электроника, 1983.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
