Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике: научное издание/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Минск:
Навука i тэхнiка
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 190[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 181-189 |
| ISBN: | 5343005403 |