Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Румак Николай Владимирович (Автор), Хатько Вячеслав Владимирович (Автор)
Соавтор: Физико-технический институт21 Академия наук Белорусской ССР
Другие авторы: Борисенко, В. Е. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: Минск: Навука i тэхнiка 1990
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР