Легирование германия и кремния ионно-лучевым методом: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Похожие документы

• Разработка и исследование ионно-оптических систем с высокочастотной фильтрацией: Диссертация представлена на соиск. уч. ст. канд. техн. наук/
  по: Илюшкин, В. А.
  Публикация: (1978)
• Электронно- и ионнолучевая технология: труды 1-й международной конференции по теории и технологии обработки электронными и ионными пучками/
  Публикация: (1968)
• Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей: перевод/
  Публикация: (1971)
• Структура поверхностных слоев NiTi после ионно-плазменного легирования Ta
• Роль кристаллографической анизотропии NiTi в формировании поверхностных слоев при ионно-плазменном легировании