Контроль технологических процессов в микроэлектронике: Учебное пособие/
| Главный автор: | Шаповалов Виктор Иванович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина)21 Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Л.
1985
|
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Измерения и контроль в микроэлектронике: Учебное пособие для вузов/
по: Дубовой, Н. Д. Николай Дмитриевич, et al.
Публикация: (1984) -
Ультразвуковой контроль и регулирование технологических процессов
по: Бражников, Николай Иванович
Публикация: (2008) -
Материаловедение в микроэлектронике/
по: Четвериков Николай Иванович, et al.
Публикация: (1979) -
Анализ и контроль технологических процессов производства РЭА: Учебное пособие для вузов/
по: Глудкин, О. П. Олег Павлович, et al.
Публикация: (1983) -
Диэлектрические пленки в микроэлектронике
по: Корзо, Виктор Федорович
Публикация: (1977)
