Государственный комитет по электротехнике СССР(М.). (1963). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. Отдел научно-технической информации.
Chicago Style (17th ed.) CitationГосударственный комитет по электротехнике СССР(М.). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. М.: Отдел научно-технической информации, 1963.
MLA (8th ed.) CitationГосударственный комитет по электротехнике СССР(М.). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. Отдел научно-технической информации, 1963.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
