Государственный комитет по электротехнике СССР(М.). (1963). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. Отдел научно-технической информации.
Chicago-стиль цитированияГосударственный комитет по электротехнике СССР(М.). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. М.: Отдел научно-технической информации, 1963.
MLA-цитированиеГосударственный комитет по электротехнике СССР(М.). Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства. Отдел научно-технической информации, 1963.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
