Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Отдел научно-технической информации
1963
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 225 с.: а-ил |
|---|