Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Отдел научно-технической информации
1963
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 225 с.: а-ил |
|---|