Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства/

Bibliographic Details
Corporate Author: Государственный комитет по электротехнике СССР(М.)
Format: Book
Published: М.: Отдел научно-технической информации 1963
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01253nam a2200193 i 4500
001 LibTUSUR0000021803
008 060815s1963 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Альбом технологического оборудования для полупроводникового производства/  |c Государственный комитет по электротехнике СССР (М.) 
260 |a М.:  |b Отдел научно-технической информации  |c 1963 
300 |a 225 с.:  |b а-ил 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ПРОМЫШЛЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО 
653 0 |a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ 
653 0 |a АЛЬБОМЫ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i А56  |p 69936  |b аунл 
080 |a 621.382.002 
710 2 1 |a Государственный комитет по электротехнике СССР(М.) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/А56-702508