Развитие метода катодного распыления/ Вып. 2 (179)
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Электроника
1970
|
| Серии: | Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 44 с |
|---|