Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Межвузовский тематический научный сборник/ Вып. 3/Ред. Д. А. Сеченов

Bibliographic Details
Other Authors: Сеченов, Д. А. (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: Таганрог 1978
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01214nam a2200157 i 4500
001 LibTUSUR0000022716
008 060815s1978 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Активируемые процессы технологии микроэлектроники:  |b Межвузовский тематический научный сборник/  |c Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский государственный радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова.  |p Вып. 3/Ред. Д. А. Сеченов 
260 |a Таганрог  |c 1978 
300 |a 199 с. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i А432  |p 181007  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77.002 
700 1 |a Сеченов, Д. А.  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/А432-046576