Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Борисенко, А. И. (Автор), Новиков, В. В. (Автор), Прихидько, Н. Е. (Автор)
Соавтор:	Институт химии силикатов21 Академия наук СССР
Формат:	Книга
Публикация:	Л.: Наука 1972
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы