|
|
|
|
| LEADER |
01110nam a2200193 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000023874 |
| 008 |
060815s1981 ru_а l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Масленников, П. Н.
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Оборудование полупроводникового производства/
|c П. Н. Масленников, А. Д. Гингис ; ред. П. Н. Масленников
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Радио и связь
|c 1981
|
| 300 |
|
|
|a 336 с.:
|b а-ил
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i О-224
|p 196641
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i О-224
|p 196642
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.002.5
|
| 700 |
1 |
|
|a Гингис, А. Д.
|4 aut
|
| 700 |
1 |
|
|a Масленников, П. Н.
|4 edt
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/О-224-024505
|
