Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Наука
1995
|
| Серии: | Труды ИОФАН;
Т.49 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 165 с. |
|---|