Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/

Bibliographic Details
Main Author:	Семенов Александр Петрович (Author)
Corporate Author:	Российская академия наук Сибирское отделение21 Бурятский научный центр Отдел физических проблем
Other Authors:	Месяц, Г. А. (Editor)
Format:	Book
Published:	Улан-Удэ: БНЦ СО РАН 1999
Subjects:	ИОНЫ ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ИОННЫЕ ПУЧКИ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ТЕХНИКА
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items