Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/

Библиографическая информация
Главный автор:	Семенов Александр Петрович (Автор)
Соавтор:	Российская академия наук Сибирское отделение21 Бурятский научный центр Отдел физических проблем
Другие авторы:	Месяц, Г. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	Улан-Удэ: БНЦ СО РАН 1999
Предметы:	ИОНЫ ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ИОННЫЕ ПУЧКИ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ТЕХНИКА
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы