Кремниевые микроэлектронные датчики на основе КМОП конструктивно-технологического базиса: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.
1995
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 46 с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 40-46 |
