Ионное легирование полупроводников. (Кремний и германий): Пер. с англ./
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Мир
1973
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 296 с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 288-296 |