Модифицирование полупроводников пучками протонов: научное издание/

Bibliographic Details
Main Author: Козловский Виталий Васильевич (Author)
Other Authors: Малкович, Р. Ш. (Editor)
Format: Book
Published: СПб.: Наука 2003
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01422nam a2200265 i 4500
001 LibTUSUR0000029234
008 060815s2003 ru_az l000 0yrus d
020 |a 5020249882 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Козловский  |q Виталий Васильевич  |4 aut 
245 0 0 |a Модифицирование полупроводников пучками протонов:   |b научное издание/  |c Виталий Васильевич Козловский; Ред. Р. Ш. Малкович 
260 |a СПб.:  |b Наука  |c 2003 
300 |a 267[5] с.:  |b a-ил 
504 |a Библиогр. в конце глав 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a электронные пучки 
653 0 |a протоны 
653 0 |a полупроводники 
653 0 |a модифицирование 
653 0 |a легирование 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 537  |i К 592  |p 297569  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 537  |i К 592  |p 301463  |b аунл 
080 |a 537.311.322:621.3.032.269.1 
700 1 |a Малкович, Р. Ш.  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=537/К 592-700290