Рычков Дмитрий Сергеевич & Кривобоков Валерий Павлович. (2004). Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04.
Chicago Style (17th ed.) CitationРычков Дмитрий Сергеевич and Кривобоков Валерий Павлович. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. Томск, 2004.
MLA (8th ed.) CitationРычков Дмитрий Сергеевич and Кривобоков Валерий Павлович. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. 2004.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.