Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Рычков Дмитрий Сергеевич (Author)
Corporate Author: Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"
Other Authors: Кривобоков Валерий Павлович
Format: Book
Published: Томск 2004
Subjects:
диссертации
магнетронный разряд
плазменные магнетроны
моделирование
магнетронные распылительные системы
электроника
источники плазмы
магнетронные диоды
постоянный ток
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:148 с.: а-ил
Bibliography:Библиогр.: с. 137-148

Similar Items