Курносов, А. И. А. И., & Юдин, В. В. В. В. (1986). Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для вузов (3-е изд., перераб. и доп.). Высшая школа.
Chicago-стиль цитированияКурносов, А. И. Анатолий Иванович, and В. В. Владимир Васильевич Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Высшая школа, 1986.
MLA-цитированиеКурносов, А. И. Анатолий Иванович, and В. В. Владимир Васильевич Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. Высшая школа, 1986.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.