Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для вузов/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1986
|
| Edition: | 3-е изд., перераб. и доп. |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 367[1] с.: a-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 363. -Предм. указ.: с. 364-365 |