Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для вузов/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1986
|
| Редактирование: | 3-е изд., перераб. и доп. |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 367[1] с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 363. -Предм. указ.: с. 364-365 |