Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 8, Литографические процессы: учебное пособие/Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 126[2] с.: а-ил |
|---|---|
| ISBN: | 5060010805 |