Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 8, Литографические процессы: учебное пособие/Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 126[2] с.: а-ил |
|---|---|
| ISBN: | 5060010805 |