|
|
|
|
| LEADER |
02485nam a2200397 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000031216 |
| 008 |
060815s1990 ru_а l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5060010805
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники:
|b Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
|n Кн. 8,
|p Литографические процессы: учебное пособие/Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Высшая школа
|c 1990
|
| 300 |
|
|
|a 126[2] с.:
|b а-ил
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a технология
|
| 653 |
0 |
|
|a литография
|
| 653 |
0 |
|
|a фотолитография
|
| 653 |
0 |
|
|a рентгенолитография
|
| 653 |
0 |
|
|a электронолитография
|
| 653 |
0 |
|
|a ионолитография
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p 257915
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p 257916
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p 266450
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p 271732
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260-3
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260-4
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Т384
|p р/к 1260
|b счз1
|
| 080 |
|
|
|a 621.359(075.3)
|a 621.382(075.3)
|
| 700 |
1 |
|
|a Мартынов
|q Валерий Владимирович
|4 aut
|
| 700 |
1 |
|
|a Базарова
|q Татьяна Евгеньевна
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Т384-484793
|
