Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 8, Литографические процессы: учебное пособие/Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова

Библиографическая информация
Главные авторы: Мартынов Валерий Владимирович (Автор), Базарова Татьяна Евгеньевна (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Высшая школа 1990
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы