Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 8, Литографические процессы: учебное пособие/Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова

Bibliographic Details
Main Authors: Мартынов Валерий Владимирович (Author), Базарова Татьяна Евгеньевна (Author)
Format: Book
Published: М.: Высшая школа 1990
Subjects:
учебные пособия
полупроводниковые приборы
микроэлектроника
технология
литография
фотолитография
рентгенолитография
электронолитография
ионолитография
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Similar Items