APA Цитирование

Физико-технологический институт21 Российская Академия наук & Великов, Л. В. (1994). Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник научных трудов. Наука.

Chicago-стиль цитирования

Физико-технологический институт21 Российская Академия наук and Л. В Великов. Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник научных трудов. М.: Наука, 1994.

MLA-цитирование

Физико-технологический институт21 Российская Академия наук and Л. В Великов. Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник научных трудов. Наука, 1994.