Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник научных трудов/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Наука
1994
|
| Series: | Труды ФТИАН;
Т. 4 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 97[7] с.: a-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце ст. |
| ISBN: | 5020068683 |